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OpenDataLicit

Licitación abierta

Suministro, instalación y puesta en funcionamiento de un equipo Electron Beam Lithography tool up to 8-inch wafers (UPV04) y un equipo SEM (UPV13) para la Pilot Line de la UPV

ExpedienteMY26/ITEAM/S/55Pendiente de adjudicación

Rectorado de la Universitat Politècnica de València licita este contrato de suministros con un presupuesto de 4,2 M€ sin IVA. Las ofertas se pueden presentar hasta el 15 de septiembre de 2026.

Rectorado de la Universitat Politècnica de ValènciaSuministrosAbiertoValencia/València

Presupuesto
4,2 M€
sin IVA
Fuente: Plataforma de Contratación del Sector Público (Ministerio de Hacienda) · Datos actualizados el

Criterios de adjudicación

Cómo se valoraron las ofertas, con su peso en puntos

Criterios de adjudicación de «Suministro, instalación y puesta en funcionamiento de un equipo Electron Beam Lithography tool up to 8-inch wafers (UPV04) y un equipo SEM (UPV13) para la Pilot Line de la UPV»
CriterioPeso
DETECCIÓN AUTOMÁTICA DE ALTURA Y CORRECCIÓN DEL PLANO FOCALAutomático4
ESTACIÓN AVANZADA DE PRE-ALINEAMIENTO (PRE-ALIGNMENT STATION)Automático10
MÓDULO DE ROTACIÓN E INCLINACIÓN (TILT) PARA INSPECCIÓNAutomático4
OFERTA ECONÓMICA: PRECIOAutomático66
ESTACIÓN DE VALIDACIÓN DE RECETAS DE PROCESO (EMULADOR)Automático10
GENERADOR DE ESCANEO CON CORRECCIÓN DE DISTORSIÓN EN TIEMPO REALAutomático6

Pliegos y documentos

Alojados en la Plataforma de Contratación del Sector Público

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Fuente: Plataforma de Contratación del Sector Público (Ministerio de Hacienda) · Datos actualizados el